MSA-500

Micro System Analyzer

All-in-One-Messsystem für dynamische und statische Messungen an MEMS und anderen Mikrostrukturen.

  • Out-of-Plane-Schwingungen charakterisieren mit Scanning-Laservibrometrie
  • In-Plane-Bewegungen und Schwingungen messen mit  stroboskopischer Videomikroskopie
  • Statische Topographie bestimmen mittels Weißlicht-Interferometrie
  • Wafer und Einzelbausteine prüfen durch Kombination mit einer MEMS Probe Station

Highlights:

  • Weltweit einzigartiges All-in-One-Messsystem für die schnelle und präzise dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS- und MOEMS-Bausteinen
  • AMA Sensor-Innovationspreis 2005

Häufigste Anwendungsgebiete:

  • Mikrosystem-Technik
  • Wissenschaft & Forschung

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